Deeltjesdepositie nader beschouwd
Onderstaand artikel over deeltjesdepositie heb ik geschreven voor het Contamination Control Magazine van VCCN, de Vereniging Contamination Control Nederland.
Het zaadje voor dit artikel werd geplant toen ik bezig was met het conceptueel ontwerp van een cleanroom voor de mechanische maakindustrie.Hier speelt vooral het voorkomen van het neerslaan van zogenaamde macrodeeltjes (deeltjesgrootte > 5 micrometer) op het oppervlak van machineonderdelen die zeer schoon moeten worden geleverd aan hightechbedrijven zoals bijvoorbeeld ASML. Ik voel me altijd wat ongemakkelijk bij het ontwerpen op basis van vuistregels. Mijn hoop was gericht op de recent gepubliceerde ISO 14644-17:2021 ‘Particle deposition rate applications’. Helaas vond ik daar niet de onderbouwing die ik zocht, het bleef bij vuistregels. Ook het bestuderen van diverse gerelateerde artikelen bracht geen licht in de duisternis.
Toen bedacht ik mij dat je het neerslaan van deeltjes eigenlijk als stochastisch proces zou moeten beschouwen. Daarover doordenkend realiseerde ik me dat ik een spreadsheet had waarmee ik het gelijktijdige gebruik van zuurkasten in een chemisch laboratorium kon voorspellen. Het bleek dat ik met deze spreadsheet ook het te verwachten aantal neerslaande deeltjes kon berekenen!
Uiteindelijk leidde dat tot een model voor deeltjesdepositie waarmee ik een onderbouwd ontwerp kon maken. Lees daarvoor onderstaand artikel.
Zie de gehele uitgave van Contamination Control Magazine waarin bovenstaand artikel is opgenomen op issuu.com.
